近日,威廉希尔体育app官网化学三班本科生蒋博静同学在威廉希尔杨鹏教授的指导下开发出以鸡蛋清为原料的新型光刻胶,该工作发表在2017年2月份《先进材料界面》(Advanced Materials Interfaces, DOI: 10.1002/admi.201601223)(蒋博静为第一作者),并进入2月份该期刊的Top 10。该工作同时申请了中国发明专利(申请号:2016109353027)。
光刻胶是指通过紫外光、深紫外光、电子束、离子束、X射线等光照或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料,是光刻工艺中的关键材料,主要应用于集成电路和半导体分立器件的细微图形加工。而国产商用光刻胶尚无能力与国际主要制造商进行抗衡,自给率低。同时传统的光刻需要繁琐复杂的步骤,并且在制备和使用过程中会使用有毒化学品。为了提高我国在光刻胶领域的自主话语权并保护环境,另辟蹊径开发新型基于天然生物材料的光刻胶以代替基于化石源的合成化学品,将有利于我国战略乃至人类社会的可持续发展。
在国家自然科学基金委的支持下(51673112, 21374057, 51303100),蒋博静同学和杨鹏教授大胆假设,小心求证,从而开发了一种使用鸡蛋清制备的并且可用水显影的光刻胶。蒋博静等发现鸡蛋清具有对紫外光(UV)和电子束(EBL)辐照的双重敏感性,因此具有形成光刻胶的基本条件。与传统的光刻胶不同,基于鸡蛋清的光刻胶非常的便宜而且绿色环保,制备过程简单并且使用的都是无毒溶剂,从而为将该技术从实验室推广到大规模工业化应用提供了关键条件。
Advanced Materials Interfaces 为 Advanced Materials 期刊子刊,主要发表与界面相关的前沿和顶尖科学研究论文及综述,内容涵盖物理、化学、材料和生物等多个学科领域。
TOP10链接:http://www.materialsviewschina.com/2017/03/24512/
图3 鸡蛋清光刻胶在金属半导体刻蚀方面的应用
该论文作者为:Bojing Jiang, Jie Yang, Chen Li, Liangliang Zhang, Xu Zhang, Peng Yang
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Water-Based Photo- and Electron-Beam Lithography Using Egg White as a Resist
Adv. Mater. Interfaces, 2017, DOI: 10.1002/admi.201601223